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由鉭的研磨速率量測結果得知，添加Al2O3粒子于去離子水中，研磨速率隨粒子濃度的增加(1 ~ 15 wt%)而
提高(2.6 ~ 118 nm/min)；但再添加H2O2或檸檬酸于1 wt% Al2O3研磨液中，卻無法量得研磨速率。
根據XPS和電化學性質的分析結果，這是由于H2O2或檸檬酸易使鉭的表面生成Ta2O5，而且欲移除Ta2O5相較于
金屬鉭更加不易所致。此外，由AFM的量測結果可知
添加不同濃度的Al2O3粒子于去離子水或是9 vol% H2O2 + 0.01 M檸檬酸的研磨液中，當Al2O3粒子濃度超過
10 wt% 后，研磨后表面粗糙度的平均值均非常接近Al2O3粒子的粒徑，約50 nm。
另外，銅/鉭可能因為同時曝露在研磨液中而發生金屬間的伽凡尼腐蝕，所以本研究亦探討氧化劑(H2O2、Fe(NO3)3
和KIO3)和面積比例對銅/鉭伽凡尼行為的影響。添加不同的氧化劑于0.01 M Na2SO4 + 1 wt% Al2O3的研磨液中，
由開路電位及伽凡尼電流的量測結果得知，不論于研磨或是靜置，在含H2O2或是KIO3的研磨液中，
鉭均為銅/鉭電偶中的陽極；但是，在含KIO3的研磨液中所量得的鉭陽極電流密度值小于在含H2O2的研磨液中所量得的
結果。當添加的氧化劑為Fe(NO3)3，銅/鉭電偶中的陽極則變為銅；
而且在靜置下所量得的銅陽極電流密度值大于在研磨中所量得的結果。至于銅/鉭不同面積比例的影響，
根據開路電位及伽凡尼電流的量測，當銅/鉭電偶中的鉭電極面積減少至原來面積的1/5倍，在含Fe(NO3)3的研磨液中
因為研磨之故，鉭會與銅發生極性轉換的現象
但是，在含H2O2或是KIO3的研磨液中，研磨并不會導致極性轉換現象的發生。
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