東城TEM電子顯微鏡的基本構成與原理-光學儀器

作者：發布時間：2022-07-02 20:54:38點擊：1810

信息摘要：

大家好，這里是老上光顯微鏡知識課堂，在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識，好的，請看下面文章：TEM基本構成與原理大致上可

大家好，這里是老上光顯微鏡知識課堂，在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識，好的，請看下面文章：

TEM基本構成與原理

大致上可分成以下幾個部份：電子源系統、電磁透鏡系統、試片室、以及最后成像系統。

大量的電子經高壓作用由燈絲射出并加速獲得能量后再由聚光鏡作用形成電子束，

電子束通過試片后會分開成直射電子束及繞射電子束，這些電子束再經由電磁透鏡系統的作用最后

以放大影像或繞射圖形(diffraction patterns)的形式投影在成像平面上。

電子源系統是由電子光束及聚光鏡所構成，電子光束的重要特性是亮度要足夠高，且能量散佈要小。

目前常見的電子光束類型大致可分為鎢(W)燈絲、六硼化鑭(LaB6)燈絲、及場發射(field emission)電子光束等三種，

前兩種是采熱游離方式來萃取出燈絲中的電子，而場發射的原理則是當真空中的金屬表面受到108V/cm大小的電場加速時

會有可觀的電子經由"Schottky"效應而發射出來。三種電子光束的亮度比依序為1:10:1000，

場發射電子光束因同時具有高亮度及低的電子能量散佈，因此現在高解析度的TEM多采用此種形式的電子光束。

場發射電子光束的電子產生率受真空度的影響很大，須在約10-9-10-10 torr的真空度下操作。

真空度若不夠高，除電子產生效率低外，燈絲的壽命也容易減低。電子源系統的真空要求度是整個TEM中更高的部份，

通常會搭配離子泵浦(ion pump)來維持真空狀態。

網站網友點擊量更高的文獻目錄排行榜：點此鏈接關注頁面底部公眾號，開通以下權限：一、獲得問題咨詢權限。二、獲得工程師維修技術指導。三、獲得軟件工程師在線指導 toupview,imageview,OLD-SG等軟件技術支持。四、請使用微信掃描首頁底部官主賬號！

本文標簽：

聯系電話