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光學(xué)顯微鏡倍率為(×100)的物鏡觀察樣品表面的成像
首先，激光光先藉由分光片(beam splitter) 通過長工作距離的顯微鏡物鏡而聚焦至樣品上。
若使用倍率為一百倍(×100)的物鏡，聚焦后的激光光點(diǎn)大小約為1 μm。樣品被激發(fā)的螢光經(jīng)由原路徑由同一物鏡蒐集，
最后再以一聚焦透鏡蒐集進(jìn)光譜儀。在此光路徑中，可以利用一分光片，
將樣品表面的影像成像于目鏡或電荷耦合元件(Charge Coupled Device, CCD)上；藉此，
可以調(diào)整激光光點(diǎn)與樣品表面結(jié)構(gòu)之間的相對位置，進(jìn)而量測不同位置的μ-PL光譜。
根據(jù)量測需求，光譜儀可挑選合適的光柵。一般常見的有光柵有三種規(guī)格，
分別為600、1200、1800 g/mm(每毫米中的條紋數(shù))。最后光譜儀的出口處，
可采用光電倍增管或CCD偵測不同波長的螢光強(qiáng)度。由于某些樣品需在低溫的情況下才能偵測到螢光訊號，
因此μ-PL可搭配開放式低溫系統(tǒng)，利用連續(xù)流入的液態(tài)氦將樣品溫度降低，在更低可達(dá)4.2 K的環(huán)境下
進(jìn)行μ-PL光譜量測。此外，為了進(jìn)行螢光光譜的偏振光分析，也可利用二分之一及四分之一波長波片(waveplate)
和偏振晶體，并將其架設(shè)在進(jìn)入光譜儀前之光路上。接下來，我們將分別敘述μ-PL在量子點(diǎn)及微共振腔之應(yīng)用實(shí)例
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