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高解析影像量測軟件結(jié)合光學(xué)顯微鏡成像檢測
高精度高檢測速度之PLCC IC外觀檢測系統(tǒng)。
采用Autodesk Inventor 3D軟體中所提供的自適性設(shè)計理念，來有效地完成IC檢測機(jī)之機(jī)構(gòu)設(shè)計，
并結(jié)合特殊光學(xué)成像檢測模組與自行開發(fā)的高解析影像量測軟體，
最終達(dá)成高穩(wěn)定性與高精度的檢測功能。本研究另一新穎性的設(shè)計，
系將IC于軌道上靠重力自由的滑行，配合IC轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)，并搭配兩組特殊光學(xué)檢測站，
來完成IC四側(cè)腳的成像檢測功能，并且采用特殊結(jié)構(gòu)光源，解決J型腳之引腳內(nèi)緣的真實(shí)成像問題；
至于在影像處理方面，使用二值化（Thresholding）、連結(jié)體標(biāo)示（Blob Labeling）及次像素（Subpixel）等方法
最后進(jìn)行檢測系統(tǒng)的重現(xiàn)性及準(zhǔn)確性統(tǒng)計分析，其系統(tǒng)重現(xiàn)性指標(biāo)（GR&R）皆在業(yè)界允收標(biāo)準(zhǔn)10％以內(nèi)，
而檢測系統(tǒng)量測數(shù)據(jù)與投影機(jī)實(shí)際量測數(shù)據(jù)進(jìn)行比較后，其結(jié)果呈現(xiàn)更大誤差僅有0.36 mils，
也符合業(yè)界所要求的檢測精度，最后評估系統(tǒng)的檢測速度，預(yù)期可達(dá)到每小時5000顆以上之IC。
關(guān)鍵字：IC晶片、腳位檢測機(jī)、機(jī)器視覺、自適性設(shè)計、重現(xiàn)性、性。
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