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掃描熱導顯微鏡的探針的設計有多種，包括偵測系統(tǒng)在AFM懸臂上的浧茼r形、直徑約一微米的Pt/Rh(90:10)金屬線、
或是整合偵測系統(tǒng)在AFM的探針上。由于掃描熱導顯微鏡的探針是種電能轉換器，
所以待測試片表面必須絕緣，以防止探針上的偵測器短路。此外，為了避免試片表面粗糙而影響解析度，
一般會將試片表面以機械研磨拋光，再清洗后，才作掃描熱導顯微量測。
各種掃描式探針顯微鏡的探針設計及偵測系統(tǒng)的發(fā)展，強烈影響其應用范圍與可行性；
本文所說明的三種衍生的掃描式探針顯微技術的關鍵就在于探針設計及材料的選擇，
偵測系統(tǒng)的在軟體及硬體上的整合，配合適當?shù)睦碚撃Ｐ团c模擬計算，
甚至在欲測試片的制作及處理上都十分重要，且亟待更多的研發(fā)與改進。
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