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SEM掃瞄電子顯微鏡和STM顯微鏡相比較有什么特點
STM和同樣具有原子解析能力的顯微技術(shù)SEM（掃瞄電子顯微鏡）相較之下，
主要有以下的優(yōu)點：
1. STM 具有將近 0.01nm 的解析度，SEM 則不太能分辨 10nm 以下的高度差。
2. STM 掃瞄樣品不需加以處理，觀察方式上沒有限制。但對 SEM 來說，非金屬樣
品需事先處理（如乾燥、鍍上導(dǎo)電薄膜），而像生物分子這一類的樣品經(jīng)過這些程
序處理后，往往會改變其原始狀態(tài)。
3. STM 的掃瞄方式對樣品而言不具破壞性，也可以在真空、空氣、水溶液等各種環(huán)
境下操作，限制很少。而 SEM 的高能量電子束對某些樣品（尤其是脆弱的生物分
子）具有破壞性。
4. STM 造價低于 SEM，體積小、設(shè)計彈性高，易與其它系統(tǒng)整合。
但STM亦有使用上的限制，例如對于不導(dǎo)電樣品或表面高度落差過大的材料不適
用等等。而且掃描速度仍比不上SEM，產(chǎn)品成熟度及穩(wěn)定性也還不夠；不過這些主要
是由于STM技術(shù)發(fā)展時間尚短，因此商業(yè)化產(chǎn)品近數(shù)年才出現(xiàn)
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