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掃描顯微鏡的應用較為廣泛如黏著、摩擦等進行量測
掃描探針顯微技術，應用最為廣泛
SPM- 掃描探針顯微鏡
SPM主要應用于基礎性學術研究，根據應用的范圍發展出一系列不同類型的SPM，
更加深與拓寬了其實用性。可綜合地對物質表面的微結構的性質，如溫度、硬度、電容以及磁、電、黏著、摩擦等進行量測和分析
掃描探針顯微鏡包含微探針、感測器、掃描平臺和控制系統幾個部份，如下圖所示。
其原理是利用一根極微細的探針(微探針)，在極靠近試片表面處對試片表面的形貌或特性(如：電、磁和光等特性)進行探測。
對于其幾個頗重要的部份，于下列作進一步的介紹
除電子顯微像外﹐利用透射電鏡還可以觀察電子衍射圖﹐如高分辨衍射﹑選區衍射﹑微區衍射和會聚束衍射等。
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