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為感光二極體偵測器的 sensitivity，為探針位移與電偏斜訊號的轉換因子
Lateral PFM
若有一極化方向存在為 in-plane 分量(平行于樣品表面)的鐵電區，藉由
施加垂直于表面的電壓，在電場方向上并不會造成壓電形變，但會產生剪切應變
(shear strain)于鐵電材料中，且會有一沿著極化方向的位移。在壓電力顯微鏡的
測量方式里，由于探針會與樣品表面接觸，因此會造成探針懸臂前端扭轉，藉此
我們可以測量側向位移。
圖 2-3 偵測 in-plane 方向的極化電區[8]
如圖 2-3 所示，假設偵測一極化方向為+X 方向的 domain，我們在探針
與下電極之間施加一 Vac 的電壓，產生一向下的電場，其效果如圖中實線所表示，
表面會有+X 方向的剪切形變，探針懸臂前端也是沿著+X 方向扭轉；若我們改變
電壓為負值，產生一向上的電場，其效果如圖中虛線所表示，表面的剪切形變為
-X 方向，探針懸臂前端也是沿著-X 方向扭轉。
壓電響應曲線量測
壓電力顯微鏡也可以在鐵電薄膜上進行微區的定量量測，因其所使用的導
電探針可視為奈米尺寸的可移動式上電極，可以在鐵電薄膜表面上的任一點進行
定點定量量測來獲得壓電響應曲線；量測方式是將DC電壓源與AC電壓源串聯后
連接至導電探針與下電極，AC電壓是用來量測鐵電薄膜此區域的壓電響應，并
透過逐步地改變DC電壓：從0V增加到Vmax，接著降低至Vmin 之后再增加到
Vmax。紀錄每個電壓值對應的壓電響應相位及振幅曲線圖，最后將所取得的壓
電響應相位及振幅曲線圖換算成壓電響應訊號曲線圖，如圖2-4所示。
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