東城高解析度測(cè)量工具影像測(cè)量?jī)x廠(chǎng)商-專(zhuān)業(yè)的顯微鏡訂購(gòu)

作者：發(fā)布時(shí)間：2022-07-02 20:50:02點(diǎn)擊：1529

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高解析度測(cè)量工具顯微鏡廠(chǎng)商

磁浮定位平臺(tái)、摩擦驅(qū)動(dòng)定位平臺(tái)、導(dǎo)螺桿定位平臺(tái)(馬達(dá)+導(dǎo)螺桿)、線(xiàn)性馬達(dá)定

位平臺(tái)等，也已經(jīng)在實(shí)際的應(yīng)用上有著相當(dāng)?shù)某尚В珜?duì)于掃描探針顯微鏡而言，

這些平臺(tái)的設(shè)計(jì)，也都存在著與壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)平臺(tái)相同的瓶頸，因此在實(shí)際應(yīng)用

掃描探針顯微鏡上，除非有其他如成本或環(huán)境控制上的考量，否則納米級(jí)定位平

臺(tái)仍不是應(yīng)用在掃描探針顯微鏡上，最適當(dāng)?shù)钠脚_(tái)定位系統(tǒng)。

除了上述之兩種定位系統(tǒng)外，可應(yīng)用在掃描探針顯微鏡上之定位系統(tǒng)尚有雙

平臺(tái)定位系統(tǒng)，雙平臺(tái)定位系統(tǒng)是應(yīng)用粗動(dòng)定位平臺(tái)(Coarse positioning stage)

與細(xì)動(dòng)定位平臺(tái)(Fine positioning stage)搭配成兼具高解析度與長(zhǎng)行程之定位系

統(tǒng)，例如以壓電材料驅(qū)動(dòng)之微動(dòng)平臺(tái)，結(jié)合直流伺服馬達(dá)和滾珠螺桿驅(qū)動(dòng)之粗動(dòng)

平臺(tái)。利用粗動(dòng)定位平臺(tái)具有長(zhǎng)行程、低定位解析度，以及微定位平臺(tái)具有高定

位解析度、高反應(yīng)速度和短行程的特點(diǎn)，將微定位平臺(tái)結(jié)合于粗動(dòng)定位平臺(tái)的上

方，則可獲得長(zhǎng)行程、高定位解析度、高反應(yīng)速度之定位平臺(tái)系統(tǒng)[3]。

但是雙平臺(tái)定位系統(tǒng)，由于是由兩種不同的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)所組成，且兩個(gè)驅(qū)動(dòng)系

統(tǒng)之動(dòng)態(tài)特性也不盡相同，因此在控制上較為復(fù)雜。然而利用傳統(tǒng)的 PID 控制法

則，仍可達(dá)到強(qiáng)健且具有次納米級(jí)定位精度與解析度之定位系統(tǒng)。因此雙平臺(tái)

定位系統(tǒng)可稱(chēng)是應(yīng)用在掃描探針顯微鏡上，最為適當(dāng)?shù)钠脚_(tái)定位系統(tǒng)

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