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溶凝膠制備氧化鋅透明導電膜-光學特征
以溶凝膠(sol-gel)法，藉由改變銦摻雜比例，合成穩定之膠態鍍膜液。經
涂佈沉積(spin-on-deposition)于玻璃基板上，適當之熱處理后，形成結晶性的摻
銦氧化鋅薄膜(ZnO:In)，當鋅與檸檬酸3:1、當銦摻雜量為3at%時所合成之IZO薄膜，
在可見光區(400~800nm)之透光率可達70％。
此溶膠凝膠鍍膜液可于常溫下進行操作，相較于傳統的真空成膜系統，
更加節省制程的成本而減少特殊溶劑的使用量。
探討制程參數，包括熱處理溫度與合成系統之不同摻雜量、
對IZO薄膜電性及光學性質之影響。
以溶凝膠法制備氧化鋅透明導電薄膜摻雜銦(IZO)鍍膜液，經過二次退
火熱處理，確實可制成具有透光和導電的透明導電薄膜，經此研究證
實650℃真空燒結一小時、再通入氬氣加氫氣燒結一小時，IZO薄膜以
摻雜量為原子比3at%具有更低片電阻，而且透光度可達70%。
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