豐臺高解析影像量測軟件結合光學顯微鏡成像檢測
作者: 發布時間:2022-07-02 20:55:42點擊:1830
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高解析影像量測軟件結合光學顯微鏡成像檢測
高精度高檢測速度之PLCC IC外觀檢測系統。
采用Autodesk Inventor 3D軟體中所提供的自適性設計理念,來有效地完成IC檢測機之機構設計,
并結合特殊光學成像檢測模組與自行開發的高解析影像量測軟體,
最終達成高穩定性與高精度的檢測功能。本研究另一新穎性的設計,
系將IC于軌道上靠重力自由的滑行,配合IC轉向機構,并搭配兩組特殊光學檢測站,
來完成IC四側腳的成像檢測功能,并且采用特殊結構光源,解決J型腳之引腳內緣的真實成像問題;
至于在影像處理方面,使用二值化(Thresholding)、連結體標示(Blob Labeling)及次像素(Subpixel)等方法
最后進行檢測系統的重現性及準確性統計分析,其系統重現性指標(GR&R)皆在業界允收標準10%以內,
而檢測系統量測數據與投影機實際量測數據進行比較后,其結果呈現更大誤差僅有0.36 mils,
也符合業界所要求的檢測精度,最后評估系統的檢測速度,預期可達到每小時5000顆以上之IC。
關鍵字:IC晶片、腳位檢測機、機器視覺、自適性設計、重現性、性。
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