豐臺顯微量測儀可以對微細部位之精密表面輪廓量測

作者：發(fā)布時間：2022-07-02 20:56:16點擊：1863

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顯微量測儀可以對微細部位之精密表面輪廓量測

自動光學(xué)三維顯微量測系統(tǒng)，利用微數(shù)位鏡式顯示器 (Digital Micro-mirror Display,DMD)、

影像光纖及微數(shù)位光學(xué)投影與取像系統(tǒng)，開發(fā)一套具分離式微量測探頭之可攜式數(shù)位三維顯微量測系統(tǒng)，

它除可進行一般三維表面輪廓高垂直解析度與精密度之微細元件精密檢測，

亦可進行量測大型樣本(或具狹窄空間)微細部位之精密表面輪廓量測。

以應(yīng)用DMD 投射出結(jié)構(gòu)光條紋，經(jīng)準(zhǔn)直鏡組、影像縮放鏡組、聚焦物鏡、同調(diào)影像光纖束(coherent image fiber bundles)

及影像放大鏡組等光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計與整合，將結(jié)構(gòu)光條紋以俯視角度投射到待測元件之表面輪廓上，再藉由高解析之CCD 相機將影像擷取至電腦中，

進行影像之前處理(Image conditioning andprocessing)，

三維數(shù)據(jù)運算處理(彩色多波長相位移法與共焦深度掃描法)及三維影像疊合與重建等重要過程，

以獲得精密之三維量測數(shù)據(jù)與實體輪廓之三角網(wǎng)格(STL)等資料

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