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晶圓目視檢測用大平臺金相顯微鏡-上海光學儀器廠
晶圓定位及瑕疵檢測系統專為晶圓目視檢測而設計，定位軟體、
顯微鏡、自動載物臺，適用于4/6/8吋晶圓即時瑕疵檢測。
提供預覽影像，操作者可在螢幕上即時檢測Wafer上的每一個Die，
并可針對Die的每種狀況進行定義，于Wafer Map上以顏色呈現。
即時觀測影像可拍照存檔，存檔名稱可自行定義，如Die的位置與瑕疵定義等。
功能特點
?讀取Wafer Map文字檔相關資訊，即時產生對應Wafer Map。
?手動三點定位，定位簡易快速，誤差小，可修正Wafer實際角度與位置偏差。
?可自定義多點檢測位置，如已公式計算多點檢測位置，或自行設定固定檢測位置。
?可自行定義Defect類別，Defect分類可以顏色呈現。
?可依每個Die的檢測狀況，選擇Defect進行標記，并以顏色于Wafer Map呈現，方便檢視與分辨，檢測結果可記錄于資料庫或Wafer Map。
?可將瑕疵狀況進行拍照存檔，存檔名稱可自行定義，如Die的位置加上瑕疵定義。
?可根據客戶需求，整合客戶端資料庫，將分析與檢測結果存入資料庫。
?提供多組比例尺建立，使用者可根據顯微鏡物鏡建立對應比例尺，并可于影像上標注比例尺。
?提供量測直線、角度、面積等多種量測工具。
?提供進階量測功能，如點到線距離、點到圓距離、線到圓距離等。
?提供影像縮放功能、方便觀察檢測。
?即時觀測影像畫面，減少檢測者于顯微鏡上觀測的疲勞度，并可顯示十字線，方便檢測與對位。
?影像拍照存檔成多種格式，如Tiff、JPEG等。
?量測結果可匯出至文字檔或Excel報表。
?提供Time Lapse影像拍照功能，可設定拍照建隔時間與張數。
客服1