豐臺SEM掃瞄電子顯微鏡和STM顯微鏡相比較有什么特點
作者: 發布時間:2022-07-02 20:56:36點擊:1963
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SEM掃瞄電子顯微鏡和STM顯微鏡相比較有什么特點
STM和同樣具有原子解析能力的顯微技術SEM(掃瞄電子顯微鏡)相較之下,
主要有以下的優點:
1. STM 具有將近 0.01nm 的解析度,SEM 則不太能分辨 10nm 以下的高度差。
2. STM 掃瞄樣品不需加以處理,觀察方式上沒有限制。但對 SEM 來說,非金屬樣
品需事先處理(如乾燥、鍍上導電薄膜),而像生物分子這一類的樣品經過這些程
序處理后,往往會改變其原始狀態。
3. STM 的掃瞄方式對樣品而言不具破壞性,也可以在真空、空氣、水溶液等各種環
境下操作,限制很少。而 SEM 的高能量電子束對某些樣品(尤其是脆弱的生物分
子)具有破壞性。
4. STM 造價低于 SEM,體積小、設計彈性高,易與其它系統整合。
但STM亦有使用上的限制,例如對于不導電樣品或表面高度落差過大的材料不適
用等等。而且掃描速度仍比不上SEM,產品成熟度及穩定性也還不夠;不過這些主要
是由于STM技術發展時間尚短,因此商業化產品近數年才出現
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