豐臺光學儀器定制-3D光學式非接觸的影像量測儀
作者: 發布時間:2022-07-02 20:58:05點擊:1982
信息摘要:
大家好,這里是老上光顯微鏡知識課堂,在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識,好的,請看下面文章:光學儀器定制-3D光學式非接
大家好,這里是老上光顯微鏡知識課堂,在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識,好的,請看下面文章:
光學儀器定制-3D光學式非接觸的影像量測儀
3D光學量測是近代量測模式的重要發展,在過去量測物體表面形貌,一般都是利用接觸式的探針量測儀,利用針頭直徑約為5mm的探針,
輕輕的刮過物體表面,藉由探針的起伏反應得知刮過部分的表面形貌,但這僅僅得知的是單一條線的2D曲線。
但在近年來各種高科技產業的元件不斷的追求輕薄短小的情況下,制程技術不斷的進步,各種光電元件的間隙幾乎都小于5mm,
原先的探針頭無法深入物件底部進行量測,
所以接觸式表面分析不論是在產線監控亦或制程研發皆無法符合大部分制造商的需要,因此光學式非接觸的量測儀器逐漸被市場所采用。
在光學式的量測儀器當中,共軛焦以及干涉式的量測儀器一直都各有擅場,共軛焦擁有比較好的XY方向的解析度以及能量測較大的斜率,
并且在量測較大的Z方向范圍有操作較為便利,但干涉儀在量測Z軸尺度<0.2mm的擁有比較好精度,并且不會因為同一樣本表面有不同的反射率而影響結果的準確性。
網站網友點擊量更高的文獻目錄排行榜:
點此鏈接
關注頁面底部公眾號,開通以下權限:
一、獲得問題咨詢權限。
二、獲得工程師維修技術指導。
三、獲得軟件工程師在線指導
toupview,imageview,OLD-SG等軟件技術支持。
四、請使用微信掃描首頁底部官主賬號!