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顯微鏡量測技術
量測技術
能達到原子級解析度的儀器：
穿透式電子顯微鏡(Transmission ElectronMicroscope ： TEM) 與掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope：SPM)。
而場發射掃描式電子顯微鏡(Field Emission GunScanning Electron Microscope：FEG SEM)發展快速。
目前解析度已可達到0.6nm
利用X光繞射分析計算顆粒大小，因具快速性與方便性
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