豐臺光波導的制作-專業光學設備廠家

作者：發布時間：2022-07-02 21:04:15點擊：3402

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大家好，這里是老上光顯微鏡知識課堂，在這里你可以學到所有關于顯微鏡知識，好的，請看下面文章：光波導的制作流程光波導的制作

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光波導的制作流程

光波導的制作流程與積體電路的制作流程相似，我們以脊形波導為例，說明如何在玻璃上成長脊形波導。

1.在玻璃表面成長一層氣化矽厚膜(厚度大于1?m)，形成“玻璃／氧化矽”的兩層結構，

2.將“氧化矽／玻璃”放入光阻涂佈機(Spin coater)，在表面涂佈光阻層，形成“光阻／氧化矽／玻璃”的三層結構，

3.將光罩放在“光阻／氧化矽／玻璃”上方進行光罩圖形轉移，注意光罩的圖形是要讓紫外光穿過左右兩個區域。被紫外光照射過的區域，光阻化學鍵結被破壞，使光阻很容易被化學藥品溶解掉。

4.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入“顯影液”中反應，化學鍵結被破壞區域的光阻會被顯影液溶解，

5.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入乾式蝕刻機中反應，使用微波產生帶負電的“氟氣體離子”，另外在矽晶圓上外加正電壓，吸引帶負電的氟氣體離子加速射向氧化矽。沒有光阻保護的區域氟氣體離子會與氧化矽反應而使氧化矽去除掉；有光阻保護的區域氧化矽受到光阻的保護而保留下來。

7.將“光阻／氧化矽／玻璃”放入“去光阻液”中反應，有光阻存在的區域光阻會被去光阻液溶解

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