豐臺高解析度測量工具影像測量儀廠商-專業的顯微鏡訂購

作者：發布時間：2022-07-02 20:50:02點擊：1532

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高解析度測量工具顯微鏡廠商

磁浮定位平臺、摩擦驅動定位平臺、導螺桿定位平臺(馬達+導螺桿)、線性馬達定

位平臺等，也已經在實際的應用上有著相當的成效，但對于掃描探針顯微鏡而言，

這些平臺的設計，也都存在著與壓電陶瓷驅動平臺相同的瓶頸，因此在實際應用

掃描探針顯微鏡上，除非有其他如成本或環境控制上的考量，否則納米級定位平

臺仍不是應用在掃描探針顯微鏡上，最適當的平臺定位系統。

除了上述之兩種定位系統外，可應用在掃描探針顯微鏡上之定位系統尚有雙

平臺定位系統，雙平臺定位系統是應用粗動定位平臺(Coarse positioning stage)

與細動定位平臺(Fine positioning stage)搭配成兼具高解析度與長行程之定位系

統，例如以壓電材料驅動之微動平臺，結合直流伺服馬達和滾珠螺桿驅動之粗動

平臺。利用粗動定位平臺具有長行程、低定位解析度，以及微定位平臺具有高定

位解析度、高反應速度和短行程的特點，將微定位平臺結合于粗動定位平臺的上

方，則可獲得長行程、高定位解析度、高反應速度之定位平臺系統[3]。

但是雙平臺定位系統，由于是由兩種不同的驅動系統所組成，且兩個驅動系

統之動態特性也不盡相同，因此在控制上較為復雜。然而利用傳統的 PID 控制法

則，仍可達到強健且具有次納米級定位精度與解析度之定位系統。因此雙平臺

定位系統可稱是應用在掃描探針顯微鏡上，最為適當的平臺定位系統

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