豐臺FE-SEM儀器觀察納米大小的物體-體視顯微鏡廠商
作者: 發布時間:2022-07-02 20:51:57點擊:1710
信息摘要:
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用FE-SEM儀器觀察,金屬點的分布情況下討論在成長金屬點陣
是以直流濺鍍白金以及熱阻絲蒸鍍鋁的差異。
濺鍍白金舉離后以FE-SEM顯微鏡觀察之照片。
可以看出在舉離后,所留下的較暗的痕跡明顯與奈米球舉離前的六方最密堆積
之圖案近似,且暗點中心間距與奈米球的大小接近,
因此可以判斷較亮的部份為白金膜,只是白金膜彼此相連并未成島狀分布圖案。
相較于的蒸鍍鋁膜舉離后的結果,可明顯看出深色圓形圖案與奈米球原先的
大小及分布均相同,較亮的部份則為舉離后留下了的鋁膜,呈現近似三角形的點
狀陣列。此兩種結果的不同,可能的原因是濺鍍是在較高的壓力下(約50 mTorr) ,
粒子的平均自由徑較短,因此金屬原子容易因相互碰撞而擴散,
以致于奈米球無法有效作為遮罩遮蔽金屬原子,因此鍍上的白金彼此相連,
舉離后無法留下島狀陣列。而在蒸鍍中,壓力小于10-5 Torr,平均自由徑可長達
數十cm,因此奈米球可成功的遮蔽金屬原子,而鍍上鋁膜可成功的留下與理論所
預期相同的金屬點陣列。不過對于舉離前的奈米球完整區域,
在舉離后留下的規則金屬點陣列區域不如預期的多,
在這一方面的實驗需要更進一步的努力空間
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