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透射電子顯微鏡能夠觀察試樣內(nèi)部的顯微組織
透射電鏡中的成像機制大體上可分為三類﹐它們相應(yīng)于吸收襯度像﹑衍射襯度像和相位襯度像。
當(dāng)電子束穿過薄膜試樣時﹐膜上各處的質(zhì)量厚度不一﹐對電子的散射能力各異。質(zhì)量厚度大的地方對電子的散射角大﹐
反之亦然。這樣﹐物鏡后焦面上的光闌就把散射角大的電子吸收掉﹐使像上出現(xiàn)襯度。如此形成的像稱為吸收襯度像﹐
它能反映 出試樣內(nèi)部的顯微組織。早期的透射電鏡只能觀察吸收襯度像。對于大塊固體材料﹐只好用有機材料把固體表面的形貌複制下來﹐
做成表面復(fù)型。復(fù)型的電子顯微像能反映出固體表面的形貌。50年代中期發(fā)展了能間接地提供晶體缺陷信息的衍射襯度像﹐
簡稱衍襯像。衍襯像是用晶體的衍射電子束或透射電子束成像﹐
像襯度源于電子衍射波 (或 透射波) 振幅的變化。電子束被薄晶體試樣衍射后﹐
試樣下表面不同地點的衍射波振幅(及強度)分布對應(yīng)于晶體各部分不同的衍射能力。當(dāng)晶體中存在缺陷時﹐
缺陷區(qū)域的衍射能力不同于完整區(qū)域﹐使各衍射波(從而使透射波)的振幅(及強度)分布不均勻﹐反映出晶體缺陷分布的情形。
這就是衍襯像成像機制的簡單原理。衍襯像的發(fā)展還使透射電鏡增 添了進行電子衍射觀察的功能﹐
于是使原來互不相干地發(fā)展著的兩個學(xué)科──電子顯微學(xué)和電子衍射──匯合起來。當(dāng)試樣薄至 100埃以下時﹐
電子穿過試樣后﹐波振幅變化甚微﹐可忽略不計。此時像的襯度源于電子波的相位變化﹐形成的像稱相位襯度像。
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