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光學(xué)量測顯微鏡擁有細(xì)微特征量測功能
傳統(tǒng)三次元量測儀因具備高量測彈性與復(fù)雜幾何特征的量測能力，成為航太、汽車與模具產(chǎn)業(yè)的主要檢測設(shè)備，
但受限于量測接觸力與最小探針尺寸，面對精微模具與微元件等三維微結(jié)構(gòu)特征之量測需求，往往顯得力有未逮。
光學(xué)量測系統(tǒng)雖擁有細(xì)微特征的量測能力，但主要是屬于表面量測應(yīng)用，對于高深寬比、
微內(nèi)孔結(jié)構(gòu)或是透明材質(zhì)的待測工件，使用上仍有諸多限制。
三次元量測切入主題，解析應(yīng)用于精微模具與元件量測之微探針量測系統(tǒng)與其工作原理，
同時介紹世界現(xiàn)今小型三次元量測儀的發(fā)展現(xiàn)況，
對于微探針量測系統(tǒng)能有初步的認(rèn)識，而最后以金屬中心投入微探針量測技術(shù)開發(fā)
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