通州半圓形的光罩可加工出截面為半圓形的溝槽

作者：發(fā)布時(shí)間：2022-07-02 20:57:07點(diǎn)擊：1841

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半圓形的光罩可加工出截面為半圓形的溝槽

微光學(xué)元件之制作

我們所使用準(zhǔn)分子激光的加工方式為光罩投影（Projection）

的方式，

采用工件材質(zhì)為PC聚碳酸酯（Polycarbonate），其折射率為1.586。

并以工件相對(duì)于激光光束運(yùn)動(dòng)進(jìn)行加工，

因?yàn)榧庸ば螤钆c加工深度是由單位區(qū)域受到激光光照射能量與照射次數(shù)所決

定。因此激光光束照射能量的大小與工件相對(duì)于激光光束運(yùn)動(dòng)快慢

可控制加工深度，當(dāng)工件相對(duì)于激光光束運(yùn)動(dòng)較快時(shí)，

其加工深度就比較淺。所以將改變光罩圖形，激光光束照射能量的大?。捎?/div>

激光光能量與衰減器角度控制），激光光束脈衝頻率（Hz），

與工件移動(dòng)速度等參數(shù)以穫得各種微光學(xué)元件。此外利用光罩圖樣的設(shè)計(jì)，

配合工件與光罩平臺(tái)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，也可以獲得特殊的微結(jié)構(gòu)。而產(chǎn)

生此種結(jié)果的原因?yàn)閷訝罴庸ぃ╨ayer machining）的特點(diǎn)，

加工深度會(huì)在原工件的形狀下產(chǎn)生相對(duì)的加工深度。所以加工深度和光罩

透光部份區(qū)域呈正比，并且加工截面形狀是光罩透光部份區(qū)域形狀

比例變形，如三角形的光罩可以加工出截面為三角形的溝槽，

而半圓形的光罩可以加工出截面為半圓形的溝槽，各種形狀的光罩可以

加工出截面為其形狀的溝槽。其加工過(guò)程是激光光透過(guò)光罩在移動(dòng)

的工件進(jìn)行拖拉式加工，最后得到直線長(zhǎng)條形的各種形狀的溝槽，

如此既可得到我們要的光柵繞射元件或是柱狀鏡。如果再將工件旋

轉(zhuǎn)90度，再進(jìn)行一次拖拉式加工，就可獲得微角錐狀陣列、微透鏡

陣列以及各種非球面透鏡陣列

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