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微光學(xué)元件:角錐狀反射鏡、柱狀鏡、微透鏡
各種微光學(xué)元件，包括角錐狀反射鏡、柱狀鏡、
微透鏡、以及各種非球面透鏡，都將采用移動(dòng)工件平臺(tái)的拖拉式加
工方法。因此我們?cè)囍潭す鈩┝颗c激光重複率，以改變拖拉的
速度（dragging velocity）控制各種元件，如直角錐陣列的深寬比、
圓柱狀鏡以及微透鏡或是各種非球面鏡的曲率，試圖找出制程參數(shù)
與曲率或是深寬比的相關(guān)函數(shù)變化。
電腦設(shè)計(jì)加工光罩形狀
以電腦程式（Matlab）模擬激光加工后的加工結(jié)果，可以得知
預(yù)估模擬加工后的加工形狀。
微直角錐陣列
加工過程是激光光透過三角形光罩在移動(dòng)的工件進(jìn)行拖拉式加
工，最后得到直線長(zhǎng)條形的截面為三角形的直線長(zhǎng)條形溝槽。然后
將工件旋轉(zhuǎn) 90 度，再進(jìn)行一次拖拉式加工，就可獲得以直角座標(biāo)格
子點(diǎn)座標(biāo)排列的微角錐陣列。所以我們就利用電腦設(shè)計(jì)如同實(shí)際加
工的過程，加以模擬設(shè)計(jì)，首先我們先繪出一直角三角形之溝槽陣
列，再繪出一道與其垂直之直角三角形之溝槽陣列，再將繪一平面，
如此將此平面減上兩道直角三角形之溝槽，就可模擬設(shè)計(jì)出我們需
要之微直角錐陣列，所示為電腦模擬微直角錐陣列圖，
所示為電腦模擬微角錐陣列的等高線圖。
由模擬設(shè)計(jì)結(jié)果得知，以微直角錐陣列為例，在三角形光罩的頂點(diǎn)位置，也就是
三角形溝槽的凹點(diǎn)處，若是位于兩個(gè)相互垂直的三角形溝槽凹點(diǎn)處，
則會(huì)形成直角錐狀的更低點(diǎn)。反之，若在位于兩個(gè)相互垂直的三角
形溝槽兩側(cè)頂點(diǎn)處，則會(huì)形成直角錐狀的更高點(diǎn)，故我們由模擬設(shè)
計(jì)之微直角錐真列可知，我們所需要之立體直角錐，即為我們加工
直角三角形溝槽所交叉拖拉工件的地方，并需旋轉(zhuǎn) 45 度的角度，
此即為我們的微直角錐陣列。
客服1