豐臺了解入射光的角度散射特征-精密光學儀器

作者：發布時間：2022-07-02 20:52:21點擊：1824

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了解入射光的角度散射特征-精密光學儀器

利用一陣列式檢光感測器對于表面光散射做紀錄分析。散射光能量及角度涵蓋量

會隨著表面粗糙度的變化而改變，表面粗糙度越大，散射光的能量也越大，

涵蓋角度也會變大。實驗的設置乃根據反射定律決定光源、受測物與感測器的相關

位置如圖2，入射角與反射角相等；因所針對的試片為金屬，屬于不可穿透之元件。

將光陣列感測器(S5668)設置于反射端，以反射光束為中心校正感測器的相關位置，

取量測距離(反射光束至感測器距離)26mm，固定感測器與試片的角度，

得知入射光經表面粗糙度所反應出的光散射效

應，并了解入射光的角度會對散射特征產生改變之情形為何。感測器夾持工具為

三軸且可旋轉之平臺，精度達0.01mm、1°；而工件夾持為一旋轉平臺，

可以隨機且精準的校正彼此的相關位置。實驗系統架設于精密光學桌上，

并以遮光布簾遮蓋，以避免外界低頻振動、光害等影響。將感測器上獲得的光反射

與散射能量透過類比轉數位轉換送交擷取卡，再由電腦讀取。以LabView軟體設計擷

取、儲存操作介面。再將儲存的檔案以數值分析軟體開啟，建立起圖形分析。

系統元件取得容易，且實驗架構具有可調性、可靠性、精密度與便利性，

針對平面元件的量測，皆可有效的利用

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