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測量玻璃平整度與缺陷的光學儀器簡介
平均高度差了42 倍之多，可見掃描行程越長，其測量精度越
高。
結合表面電漿共振及外光程外差干涉術，來測量玻璃平整度與缺陷，具有架構簡單、準確性高的優點，
而且為非接觸式量測，使得待測物不受任何限制，證明本實驗
的量測方法，具有很好的學術研究價值，可一直深入研究，并
且具有很大的產業應用潛力及開發價值，相信不久將來，此方
法將可在光學量測技術占有一席之地
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