豐臺光學量測顯微鏡擁有細微特征量測功能
作者: 發布時間:2022-07-02 20:52:37點擊:1644
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光學量測顯微鏡擁有細微特征量測功能
傳統三次元量測儀因具備高量測彈性與復雜幾何特征的量測能力,成為航太、汽車與模具產業的主要檢測設備,
但受限于量測接觸力與最小探針尺寸,面對精微模具與微元件等三維微結構特征之量測需求,往往顯得力有未逮。
光學量測系統雖擁有細微特征的量測能力,但主要是屬于表面量測應用,對于高深寬比、
微內孔結構或是透明材質的待測工件,使用上仍有諸多限制。
三次元量測切入主題,解析應用于精微模具與元件量測之微探針量測系統與其工作原理,
同時介紹世界現今小型三次元量測儀的發展現況,
對于微探針量測系統能有初步的認識,而最后以金屬中心投入微探針量測技術開發
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