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工件輪廓測量儀器-全自動測量投影儀器
納米繞射及散射線寬量測技術(shù)
以 AFM 量測 50 nm 線寬線距技術(shù)，須配合使用超細微探針，探針尺寸可降低
到 2~10 nm 等級，減少對量測待測件表面尺寸的影響。
因探針尺寸還是與待測件尺寸相近，以傳統(tǒng)掃描方式，會受限于探針給幾何表面形狀，會有死角而無法量測問題，
當(dāng) AFM 探針由左往右掃描時，工件右側(cè)輪廓侷限于探針幾何形狀問題，無法
量測到。NIST[1-5]作法是使用傾斜式單向掃描，由作次左往右掃描后，
將工件旋轉(zhuǎn) 180 度，同樣再掃描一次后，以縫補技術(shù)讓二次掃描結(jié)果組合，以得到待測
件真實輪廓。此方法會碰到問題為納米工件非常細微，經(jīng)旋轉(zhuǎn) 180 度后，很難再找到同
樣位置進行量測，會造成縫補技術(shù)組合誤差。
另一量測程序，將探針與待測面傾斜，先將探針左傾斜時，由左往右掃描時，工件左側(cè)輪廓不會侷限于探針幾合形
狀問題，直接在再傾斜探針為右傾斜后，并進行掃描，同樣再以縫補技術(shù)組合，
因傾斜調(diào)整座在傾斜轉(zhuǎn)動時，工件仍會有空間位移問題，由調(diào)整座幾何形狀關(guān)系與傾斜角度，
可推算出偏移量，再由水平移動平臺補償偏移后，仍可找到待測件，所以二次量測都能
在同一位置附近，才能以縫補技術(shù)補償誤差
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