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工件表面粗糙度測量儀器-光學式測量顯微鏡
微型空氣軸承中含入表面粗糙度的影響之下，穩態負載、動態特性與穩定性之變化。
在這些條件下我首先發現在極低間隙潤滑問題中，稀薄氣體效應與表面調節因子的作用不容忽視，
我將在傳統潤滑方程式中導入壓力流率及剪切流率修正因子。進而在表面粗糙度的影響下，將粗糙度因子、
壓力流率修正因子及、剪切流率修正因子導入方程式中，結果可獲得含粗糙度與稀薄氣體效應之潤滑方程式。
透過微擾法對此方程式線性化，可推導出零階與一階方程式，并以有限元素法求解。
研究結果可針對不同表面粗糙度、軸承運轉參數、稀薄氣體效應(表面調節系數)以及激振頻率之
穩態負載壓力及動態系數(剛性系數、阻尼系數)進行分析，然后將所得到之動態系數與激振頻率回代至所設計之程式，
找出軸承穩定性之關鍵質量，對含粗糙度之微型空氣軸承在不同的操作參數下進行穩定性的分析與討論。
針對粗糙度效應中，不同的粗糙度標準差與粗糙度型式分析出粗糙度效應對軸承運轉特性的影響、
反紐森數以及稀薄氣體效應相對于不同粗糙度標準差下對軸承的穩定性影響
、以及偏心的狀態下粗糙度效應的影響所造成軸承的運轉特性與穩定性
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