豐臺微電子元件的應(yīng)用-微機電(MEMS)之體型微加工技術(shù)
作者: 發(fā)布時間:2022-07-02 20:52:10點擊:1687
信息摘要:
大家好,這里是老上光顯微鏡知識課堂,在這里你可以學(xué)到所有關(guān)于顯微鏡知識,好的,請看下面文章:微懸臂樑感測是目前生化、生醫(yī)
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微懸臂樑感測是目前生化、生醫(yī)之熱門微量偵測技術(shù)之一。
利用矽在DRIE的等向性蝕刻的特性,以微機電(MEMS)之體型微加工技術(shù)在n-type的SOI晶圓制作出懸臂式的結(jié)構(gòu),
再以離子植入將硼doping在結(jié)構(gòu)上。將壓阻佈局成惠司通電橋平衡的方式,再
加入雜訊、自我溫度補償和自我校正功能,就可完成一個微流量感測器(Sensor)以進行測試。
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